EPD (Exhaust Line Pressure Detector)

EPD功能

  • 排气管路压力监测通过实时监测排气管路压力 : 防止可能因压力升高而发生的工艺问题
  • 利用中和 : Hot N2的气体稀释工艺（Process Gas Dilution）
  • 由于在输送 : 管道壁面喷射的 Hot N2可高速输送副产品，防止副产品在管内积聚
  • 通过热能激活 : Hot N2 喷射，激活副产品可防止副产品在管道中积聚

EPD优点

  • 通过压力检测，检查事故发生脆弱部位（管道连接部位和波纹管应用位置）的压力
  • 通过FDC连接的实时监控和互锁功能实现高效管理
  • 生成粉末和预防积聚
  • 抑制管道中的氧化物产生，通过减少
  • P.M周期提高设备生产率
  • 降低维护成本

PMS 规格

Item Description
Power Single Phase 208 ~ 230 VAC. 50/60Hz
Operation Temp. Max. 200℃
N2 Flow Rate Max. 200 SLM
N2 Pressure Source 5.0 kg/cm2 ↑
Communication RS-485 Modbus Type
Sealing Material None
Material STS 316