EPD (Exhaust Line Pressure Detector)

EPD 기능

  • Exhaust Line Pressure Monitoring : Exhaust Line 압력을 실시간으로 Monitoring하여 압력 상승으로 발생 될 수 있는 공정 Issue를 방지
  • 중화 : Hot N2를 이용한 Process Gas Dilution
  • 이송 : 배관 벽면에 분사되는 Hot N2로 인해 빠른 속도로 부산물이 이송되어 배관 내 부산물 누적 방지
  • 열에너지 활성화 : Hot N2 분사를 통해 부산물을 활성화 시켜 배관 내 부산물 누적 방지

EPD 장점

  • Pressure Detecting을 통해 사고 발생 취약 부위 (배관 연결 부위 및 Bellows 적용 위치)의 Pressure 확인
  • FDC 연결을 통한 Real-Time Monitoring 및 Interlock 기능을 통해 효율적인 관리
  • Powder 생성 및 누적 방지
  • 배관 내 산화물 생성 억제
  • P.M 주기 감소를 통한 설비 생산성 향상
  • 유지보수 비용 감소

PMS 사양

Item Description
Power Single Phase 208 ~ 230 VAC. 50/60Hz
Operation Temp. Max. 200℃
N2 Flow Rate Max. 200 SLM
N2 Pressure Source 5.0 kg/cm2 ↑
Communication RS-485 Modbus Type
Sealing Material None
Material STS 316