Hot-Gun (Gas 순간 가열 장치)

Vacuum Line 적용 Hot-Gun 기능

  • Gas Line Condition 관리 : Flow Gas의 열에너지를 증가시켜 Gas Line Condition 관리
  • 수율 상승 : Process Chamber의 Condition을 상승시켜 수율 증가
  • Particle 최소화 : Heat-up Gas Flow를 통한 Particle Issue 최소화

Exhaust Line 적용 Hot-Gun 기능

  • Process Gas Dilution : Heat-up N2 Flow를 통한 Process Gas Dilution
  • Powder 생성 억제 : Δt 발생을 최소화하여 Powder 생성 억제
  • P.M 주기 감소 : Powder 생성 억제를 통한 P.M 주기 감소

Hot-Gun 장점

  • Compact한 Size 구성으로 설치 시 공간 제약 문제 최소화
  • Flow되는 Gas의 온도관리를 통해 효율적인 System 운영
  • 설치 위치에 맞게 Customize 가능

PMS 사양

Classification Item Description
공통 항목 Power Single Phase 208 ~ 230 VAC. 50/60Hz
Temp. Control P.I.D Control (Sensor : K-Type)
N2 Pressure Source 5.0 kg/cm2 ↑
Material STS 316
소형 Operation Temp. Max. 200℃
N2 Flow Rate Max. 100 SLM
중형 Operation Temp. Max. 300℃
N2 Flow Rate Max. 500 SLM
대형 Operation Temp. Max. 200℃
N2 Flow Rate Max. 1,500 SLM