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특허 현황

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국내 특허

  • DP14570특허진공펌프-열을-이용한-질소가스-분사장치2011.12.01.jpg
    제 10-1091136호 진공펌프 열을 이용한 ...
  • DP14135특허배기압력-측정장치2011.12.20.jpg
    제 10-1098990호 배기압력 측정장치
  • DP13001특허질소가스분사장치2011.10.04.jpg
    제 10-1071937호 질소가스 분사장치
  • DP12810특허질소가스분사장치2011.08.25.jpg
    제 10-1061197호 질소가스분사장치
  • 1

미국 특허

  • OP14271US미국에너지-절약형-사일런서-어셈블리와-이를-구비한-반도체-제조용-진공펌프-및-질소가스의-가열방법특허공보2016.08.jpg
    OP14271US 에너지 절약형 사일런서 어셈...
  • OP14256US미국배기압력측정자치특허공보2013.02.jpg
    OP14256US 배기압력측정장치
  • 1

중국 특허

  • OP14271CN특허에너지-절약형-사일런서-어셈블리와-이를-구비한-반도체-제조용-진공펌프-및-질소가스의-가열방법중국2016.01.jpg
    OP14271CN 에너지 절약형 사일런서 어셈...
  • OP14245CN특허질소가스-분사장치중국2015.04.jpg
    OP14245CN 질소가스 분사장치
  • 1

일본 특허

  • OP14271JP특허에너지-절약형-사일런서-어셈블리와-이를-구비한-반도체-제조용-진공펌프-및-질소가스의-가열방법일본2015.06.05.jpg
    OP14271JP 에너지 절약형 사일런서 어셈...
  • OP14245JP특허질소가스-분사장치일본2014.02.jpg
    OP14245JP 질소가스 분사장치
  • 1

유럽 특허

  • OP14271EP특허에너지-절약형-사일런서-어셈블리와-이를-구비한-반도체-제조용-진공펌프-및-질소가스의-가열방법유럽2016.08.jpg
    OP14271EP 에너지 절약형 사일런서 어셈...
  • 1
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